无色澄清的发烟液体。磋51574，熔点- 112℃，沸点76℃。溶于苯、乙醚、氯仿、四氯化碳。在潮湿空气中能水解成亚磷酸和氯化氢，发生白烟。遇水和乙醇起分解反应，与有机物接触会着火，有腐蚀性。遇水猛烈分解，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸

以试剂级三氯化磷为原料，在常压下，于74～76℃时进行蒸馏，去除初馏分及终馏分，得到除去砷、硫和其他金属杂质的纯度为99. 99%～99. 999%的高纯三氯化磷。

用作半导体掺杂剂及高纯磷的原料。在整个电路生产的工艺过程中，三氯化磷的质量对控制沾污、提高集成电路成品率起着重要作用。

有毒；有刺激性和腐蚀性。大鼠经口LDso：550mg/kg；大鼠吸入LCsa：104×10-6 4h。对眼睛、呼吸道黏膜有强烈的刺激作用，能使结膜发炎，喉痛，对肺和黏膜都有刺激性，液体或较浓的气体可引起皮肤灼伤，亦可造成严重眼损害，甚至失明。操作人员应做好全防护。若不慎误触皮肤应立即用大量温水和肥皂洗涤干净。不可与易燃物品、潮解性等物品共贮混运。装卸时要小心轻放，防止包装瓶破裂。失火时，可用干沙土、干粉灭火器扑救，不可用水。远离火种、热源。