为无色具有强烈腐蚀性的液体。dzs l.645；沸点105.8℃；熔点125℃。在潮湿空气中发烟，有强烈刺激性，遇水发生剧烈分解。在水中沉底，与水激烈反应生成有毒或腐蚀性磷酸和盐酸。遇水剧烈分解，产生大量的热和浓烟，甚至爆炸。具有较强的腐蚀性。与空气接触形成腐蚀性气体。与酸类、醇类、碱金属、腐蚀剂、可燃物质、二硫化碳、二甲基甲酰胺、有机物、强碱、锌粉接触发生反应。在潮湿环境下，除了铅之外，能快速腐蚀钢和绝大多数金属。

以试剂级三氯氧磷为原料，加入石英蒸馏设备中进行精馏精制，制得高纯三氯氧磷成品。

主要用于制各化合物半导体、光导纤维及用于半导体掺杂

大鼠经口LDso：380mg/kg；大鼠吸入4h LCsa：32×10-6。有毒l其毒性与光气类似。对眼睛、呼吸道黏膜有刺激作用，可引起眼和皮肤灼伤。工作人员应作好防护，工作环境应具有良好的通风条件。本品应贮存在阴凉、通风、干燥库房内。容器必须密封。不可与易燃物品、潮解性物品、碱性物质共贮混运。运输过程中要防雨淋、防潮、防烈日暴晒。装卸时要小心轻放，防止撞击和包装瓶破裂。